चाकू गेट वाल्व

क्रॉस-फ्लो प्रेशर रेगुलेटिंग वॉल्व स्ट्रक्चर्स हाई-फ्लो प्रेशर कंट्रोल एप्लिकेशन के लिए आकर्षक होते हैं, क्योंकि कम एक्ट्यूएशन फोर्स की आवश्यकता होती है और डिवाइस फुटप्रिंट एरिया कम होता है। एक चाकू गेट वाल्व गढ़ा गया था, जो 1.5 बार के आपूर्ति दबाव पर 1.3 Nl / मिनट के प्रवाह को नियंत्रित करता था। गहरी प्रतिक्रियाशील आयन नक़्क़ाशी (DRIE) और सिलिकॉन फ्यूजन बॉन्डिंग का उपयोग करके वाल्व को सूक्ष्म रूप से निर्मित किया गया था। दबाव नियंत्रण प्रणालियों में सूक्ष्म मशीनी चाकू गेट वाल्व का उपयोग प्रदर्शन को बढ़ाता है और लागत बचत को महसूस किया जा सकता है।